1、高纯气标准
GB/T 7445-1995 《纯氢、高纯氢、超纯氢》 GB/T 14599-2008《纯氧、高纯氧和超纯氧》
GB/T 8979-2008《纯氮、高纯氮和超纯氮》 GB/T 4842-2006《氩》
GB/T 4844.3-1995 《高纯氦》 GB/T 17873-1999《纯氖》
GB/T 5829-2006《氪气》 GB/T 5828-2006《氙气》
HG/T 3633-1999《纯甲烷》 GB 10621-2006《食品添加剂 液体二氧化碳》
2、电子气标准
GB/T 16942-2009《电子工业用气体 氢》 GB/T 16943-2009《电子工业用气体 氦》
GB/T 16944-2009《电子工业用气体 氮》 GB/T 16945-2009《电子工业用气体 氩》
GB/T 14604-2009《电子工业用气体 氧》 GB/T 14600-2009《电子工业用气体 氧化氩氮》
GB/T 14601-2009《电子工业用气体 氨》 GB/T 14602-93《电子工业用气体 氯化氢》
GB/T 14603-2009《电子工业用气体 三氟化硼》GB/T 18994-2003《电子工业用气体 高纯氯》
GB/T 14851-93《电子工业用气体 磷化氢》 GB/T 17874-1999《电子工业用气体 三氯化硼》
GB/T 15909-2009《电子工业用气体 硅烷》 GB/T 21287-2007《电子工业用气体 三氟化氮》
GB/T18867-2002《电子工业用气体 六氟化硫》
